原子层沉积(ALD)背钝化技术简介

1)通过与表面Si原子形成Si-H键减少Si晶表面缺陷密度。

2)氧化铝材料表面较高密度负电荷形成“场效应”,减少硅表面少子密度。从而到达降低表面复合数量,延长载流子寿命密度,提高Voc,Jsc并最终提高电池效率的目的。

 

PERC电池工艺路线

原子层沉积氧化铝作为太阳能电池钝化材料具有制备温度低、钝化效果优良、适用范围广等众多优点。非常适用于N型高效电池的发射极及P型高效电池背表面的钝化(PERC)。氧化铝背钝化工艺只需在现有电池生产工艺基础上增加氧化铝镀膜和激光划线两步,与其它高效太阳能电池工艺相比,技术难度较小,设备投资成本低,是高效太阳能电池的下一个技术方向。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

理想能源设备ALD背钝化机台特征:

业内首创的 In-Line + Batch ALD方式,具有以下特征:

1.基于已产业化的成熟设备平台,可靠性、稳定性、安全性已通过量产验证该开机率超过95%,维护方便。

2.模块化设计,可进行灵活配置,满足不同生产环境下的产能需求(500片/小时~3500片/小时);同时可增加客制化的自动化功能(包括上/下片),与客户生产线灵活对接。

3.托盘式批量电池片传输方式,碎片率降至最低,减少了由于碎片造成的停机时间,同时避免了绕镀现象。

4.维护时间短、运行成本低。采用低压热反应,与PECVD Al2O3工艺相比,TMA用量降低了1/2;相比常压ALD工艺, 减少了颗粒的形成及系统的维护时间。

 

ALD背钝化机台及电池性能

数据表明,采用理想能源设备ALD氧化铝背钝化材料可提升P型多晶电池转化效率0.6%以上,该设备和工艺已被业界太阳能电池生产厂家所验证。