理想能源首台量产MOCVD下线
日期:2012-12

 

12月6日,具有国际尖端技术水平的国内首台量产型MOCVD(金属有机化学气相沉积设备)设备在理想能源成功下线,并与世界知名的台资龙头企业签约供货。此举打破了高亮度LED芯片设备生产长期被欧美企业垄断的局面,使重大装备国产化迈出坚实一步。

MOCVD是高亮度LED芯片生产过程中最关键的设备,因设备技术难度高、开发周期长以及国内产业化起步晚等原因,市场主要被欧美企业所垄断。近年来,随着高亮度LED在户外显示、液晶面板背光、汽车应用等领域渗透率的不断提高,特别是半导体照明市场的启动,对量产型MOCVD设备的需求呈现出爆发性的增长,全球年需求达数百台、市场规模数十亿美元。我国LED外延芯片与封装在规模与素质上都取得了举世瞩目的成就,产品国产化比例显著提升,但关键装备特别是量产型MOCVD仍然依靠进口,生产成本居高不下,严重制约着LED产业的发展。因此开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备是海峡两岸LED外延芯片企业的迫切要求。

2010年9月,理想能源启动MOCVD项目,在短短的两年时间里,理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备,并完成了第一代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装,成功地实现GaN基LED外延片的发光。经过设备原型机近1年的运行证明其性能达到甚至超过预定指标,并于2012年5月通过上海市科委的验收。依据工艺验证结果和客户反馈,在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备,单腔一次可生产84片2英寸外延片,超过主流进口设备。量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升,最适合商业量产,该产品已申请20项国内外专利。

理想能源首台量产型MOCVD设备的下线,将有望逐步打破量产化MOCVD设备一直被国外厂商垄断的局面,国产设备将与进口产品同台竞技,为广大LED外延芯片企业改善产品品质、降低生产成本,提供优质的本土化服务。

在下线仪式上,台湾璨圆光电股份有限公司与理想能源设备有限公司就首台MOCVD出货及后续的深入合作签署了协议,标志着双方的共赢合作开始。半导体照明产业联盟、联合创新国家重点实验室和国内数家LED外延芯片龙头企业的高管和技术专家也应邀出席该庆典仪式。业界同仁欢聚一堂,就增强中国LED行业的整体竞争力、实现合作共赢、加强上下游互动以及关键设备的国产化等主题进行了深入的交流与沟通。