理想能源MOCVD设备于璨扬光电正式投入试量产
日期:2013-10

2013年10月18日,理想能源设备(上海)有限公司与璨圆光电股份有限公司联合宣布:理想能源MOCVD设备已于台湾璨圆光电股份有限公司位于扬州的子公司-江苏璨扬光电有限公司的外延工厂正式投入试量产。这是继2012年12月具有国际尖端技术水平的首台MOCVD设备下线之后,理想能源与璨圆光电携手在国产MOCVD设备产业化方面取得的又一重大突破,实现了MOCVD设备完全自制化。同时,这也是两岸企业共同合作在LED领域建立中华品牌取得的首次重大成果;一举打破了MOCVD设备市场长期被欧美企业垄断的局面,使LED设备的国产化又向前迈进了一大步。

MOCVD是生产高亮度LED芯片的最关键设备,因设备技术难度高、开发周期长以及产业化起步晚等原因,两岸市场长期以来被欧美企业所垄断。近年来,两岸LED制造在规模与品质上都取得了举世瞩目的成就,但最关键的MOCVD设备仍然依赖国外供应商,LED生产成本居高不下,严重制约着LED产业的发展。因此,开发出更高性价比的国产商业化MOCVD设备是海峡两岸LED外延芯片企业的迫切要求。

理想能源首台MOCVD设备发运至江苏璨扬光电后,璨扬光电按照大规模外延生产的要求,对理想能源的MOCVD设备进行了各项设备性能和外延制程的测试和验证;然后双方结合理想能源设备的特点,进一步调试和优化了外延工艺和LED性能。在此基础上,璨扬光电对理想能源的MOCVD设备又进行了外延量产的可靠性、稳定性和重复性等各方面的评估;最终决定将其正式投入到璨扬光电的生产线进行试量产。

璨圆光电董事长简奉任博士表示:“理想能源的MOCVD设备设计理念十分先进,创新和差异化特征突出,具有产能大、使用成本低的特点;在整个验证过程中,双方团队密切配合,攻克了众多难关。这是两岸企业首度携手在MOCVD设备研发合作方面取得的重大成果。相信在两岸LED业界同仁的共同努力下,中华品牌MOCVD设备最终将会取得与欧美设备比肩的地位!”

理想能源MOCVD设备基于自主创新设计,具备完整的知识产权,在LED 的大规模生产上优势明显:具有目前业界最高的单腔产能,90片(2英吋)/批次,24片(4英吋)/批次;具有最低的单片外延生产成本;具有良好的波长均匀性及大规模外延生产所需的各项关键性能。理想能源目前提供单反应腔和簇式多反应腔两种机型。预计到2013年底,将有4-5台机台进入大陆和台资LED厂,用于多种LED产品的生产。