理想能源U型异质结PECVD量产设备下线
日期:2015-01

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

    理想能源设备(上海)有限公司近日成功推出转换效率超过21.5%的高效异质结太阳能电池量产UPECVD设备,该设备连接无污染氮气房,并配有全自动化的机械辅助平台,可实现目标节拍时间100秒,是目前国内首家具有国际领先技术的高产能低成本异质结太阳能电池量产设备。两台此U型设备能一次性完成I/N/I/P四层晶硅工艺,可形成1800/小时的量产单元系统,年产能达到75MW目前该U型设备已与大陆及台湾的数家知名企业合作DEMO,并获得客户的高度认可。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

U型设备更多特点介绍:

第一,在于整个CVD传输过程处于超洁净环境, 规避了生产过程中的氧化及交叉污染的问题。

第二,从晶舟至晶舟的全自动化生产的设计让设备配备了等离子体自清洗系统,无需开腔体维护以此保持反应腔洁净,提升了设备正常运行时间。

第三,反应腔体体积小,从而为生产节省工艺气体用量,降低生产成本。

第四,特有的无移动元件射频匹配器/频率自动扫描系统使等离子体稳定时间<0.5秒,以确保工艺重复稳定。

第五,40MHz甚高频等离子体源,大大降低了表面损伤,实现高Voc(开路电压)。

第六,独特的反应腔结构设计减少驻波效应,保证等离子体的均匀性。

第七,反应腔的双真空结构有效避免高温工作条件下反应腔的形变,确保工艺稳定性。