LPCVD简介

TCO玻璃

TCO玻璃是指用物理或化学的方法在平板玻璃表面均匀地镀上一层透明的导电氧化物膜(Transparent Conductive Oxide)而形成的组件。TCO玻璃的在光伏领域的最主要应用就是用作薄膜太阳能电池的前基板(电极),它的性能对于薄膜太阳能电池的最终转换率有着相当大的影响。作为薄膜太阳能电池前基板的TCO玻璃必须具有透光性,导电性及减反射等功能。TCO玻璃依据所镀的透明导电氧化物薄膜及制备工艺的不同而分为诸多类别。理想能源的设备是用低压化学气相沉积(LPCVD)的工艺在玻璃上镀掺硼的氧化锌薄膜(ZnO:B)。

用LPCVD镀ZnO:B膜的工艺优势

理想能源采用LPCVD在玻璃上镀ZnO:B膜的工艺有以下优势:
  • TCO玻璃的透光性及电阻可以进行灵活的调整,LPCVD工艺可以精确地控制镀膜的厚度及氧化物的构成比例来取得理想的透光性及电阻组合。
  • ZnO:B膜特有的绒面结构具有优异的陷光能力,无须经过酸蚀即可形成很高的雾度,有利于提高薄膜电池组件的转换效率。
  • LPCVD工艺可以避免目前较常用的溅射工艺因离子轰击而对其它膜层造成的损伤.
用理想能源的设备生产出来的TCO玻璃有以下优点:
  • 透光性好:所镀的掺硼的氧化锌膜的透光性可高于85%。
  • 导电性好:方块电阻可在10-20欧姆之间调整。
  • 雾度高:可高于25%。

理想能源LPCVD设备

理想能源以开发半导体设备的严谨态度和精细工艺来设计制造太阳能光伏设备。自2010年3月成功开发出第一台LPCVD设备以来,理想能源的设备已经在客户处平稳运行至今。理想能源的设备具有以下特点:

运行中的LPCVD设备
  • 精细稳定:所镀氧化物薄膜厚度可在100-1700及以上纳米范围内自由设定,膜厚均匀性低于10%
  • 高产能:根据所镀膜厚度不同,反应腔数量不同,镀膜节拍范围40-170秒,设备有效工作时间(Up Time)大于90%,以终端电池转换率10%计算,一台设备一年至少可生产出20MW的产能所需的TCO玻璃*
  • 设备参数可调:可根据用户的要求调整所镀薄膜的厚度及氧化物的成份,从而生产出具有不同透光性、导电性及雾度的TCO玻璃
  • 先进的软件控制系统:自主研发的实时控制系统,完全基于网络架构设计,界面友善,操作简单,数据传输安全、采集方便,可实现无任何软件安装的远程监控及远程控制
  • 应用范围广:既可用于TCO玻璃生产厂家也可用于薄膜太阳能电池生产厂家;所生产出来的TCO玻璃既可用于硅基薄膜太阳能电池,也可用于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池及碲化镉(CdTe)薄膜太阳能电池
  • 性价比高:相比直接购买TCO玻璃或购买国外LPCVD设备,理想能源的设备性价比高,可极大降低最终薄膜太阳能电池板的单位成本
  • 经过实际生产环境检验:经过用户测试,理想能源公司的LPCVD在各项指标上都足以媲美从国外进口的同类设备,所组装的薄膜电池转换效率不低于国外设备线上的产品转换率
* 假设最终的薄膜太阳能电池的转换率为10%,TCO玻璃的规格为1.1m x 1.3m

总结

理想能源开发的低压化学气相薄膜沉积(LPCVD)设备制造出来的TCO玻璃具有高透光性,强导电性及高雾度的特点,是制造各种薄膜太阳能电池前基板(电极)的理想材料。理想能源的LPCVD设备性能稳定、产能高、性价比高、应用范围广,并且已经经过用户的实践检验,是TCO玻璃生产厂家及各类薄膜太阳能电池生产厂家的理想选择。